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產(chǎn)品描述
產(chǎn)品規(guī)格
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NNS-XY100Z15-01 重載XYZ三維納米定位平臺
NNS-XY100Z15-01是一款高精度三維納米定位平臺。具有尺寸小，頻率高，帶寬高，精度高的特點(diǎn)。行程100/100/15μm，分辨率 0.5/0.5/0.1nm。
典型應(yīng)用
• 顯微成像 • 光學(xué)對準(zhǔn)
• 光學(xué)測量 • 樣品對準(zhǔn)
• 表面檢測 • 納米定位
• 精密加工
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